[实用新型]直拉法单晶硅生产用石英坩埚无效
申请号: | 200620003851.2 | 申请日: | 2006-02-17 |
公开(公告)号: | CN2884103Y | 公开(公告)日: | 2007-03-28 |
发明(设计)人: | 高纪庆;杨晓忠 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人: | 林倩;金辉 |
地址: | 213031江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种直拉法单晶硅生产用石英坩埚,具有本体,本体内壁具有保护涂层。本实用新型的石英坩埚的内壁不会被熔硅侵蚀、能在高温下具有较长的稳定性、改善单晶的晶体质量,具有较高的实用价值。 | ||
搜索关键词: | 直拉法 单晶硅 生产 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
1、一种直拉法单晶硅生产用石英坩埚,具有本体(1);其特征在于:本体内壁具有保护涂层(2)。
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