[实用新型]一种羰基金属化合物气相渗透/沉积装置

摘要

本实用新型由炉体、进气口(16)、尾气出口(1)、电加热及控温系统、空冷系统、炉座(11)、震动系统等部分组成，炉体由炉底半球体(8)、炉管(4)和炉顶缓冲器(2)三部分组成，各部分间通过法兰连接，炉体外测有一电加热和控温系统，震动系统由震动面板(12)、弹簧及固定柱(13)、震动炉架(14)、震动电机(15)等部分组成，炉体下部有一空冷系统。本装置适用于向尺寸规格小、流动性较好的基体渗透/沉积超细金属颗粒或薄膜，成本低，生产效率高，适于工业生产。

主权项

1、一种羰基金属化合物气相渗透/沉积装置，由炉体、进气口(16)、尾气出口(1)、电加热及控温系统、空冷系统、炉座(11)、震动系统等部分组成，其特征在于所述炉体由炉底半球体(8)、炉管(4)和炉顶缓冲器(2)三部分组成，炉底半球体(8)和炉管(4)通过法兰(9)连接，炉管(4)和炉顶缓冲器(2)通过法兰(3)连接，炉体外测有一电加热和控温系统，震动系统由震动面板(12)、弹簧及固定柱(13)、震动炉架(14)、震动电机(15)等部分组成，整个炉体先安装在炉座(11)上，然后再安装在震动炉架(14)上，震动面板(12)与炉座(11)底部固定连接，炉体下部有一空冷系统。