[实用新型]离子注入机宽范围电流检测自动换档装置

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机宽范围电流检测自动换档装置包括法拉第，I/V转换器，运放器，模拟开关，场效应管，高精密电阻，控制器，主计算机，其中法拉第将接收到的带电粒子以电流的形式传输到I/V转换器，I/V转换器将接收来的束流进行电流到电压的转换，传送给运放器，运放器将接收来的束流进行电压放大，控制器发送指令控制模拟开关来选择档位，使场效应管导通，高精密电阻作为反馈电阻，将运放器的输出电压进行反馈放大，控制器读取运放器的输出电压值，将它转化为数字信号传送给主计算机，主计算机对检测到的电流值进行判断，控制模拟开关和高精密电阻换档。该装置使用闭环全自动控制，实现了离子注入机宽范围的自动换档。

主权项

1.一种离子注入机宽范围电流检测自动换档装置，其特征在于：包括法拉第，I/V转换器，运放器，模拟开关，场效应管，高精密电阻，控制器，主计算机，其中用于接收注入掺杂束流的法拉第将接收到的带电粒子以电流的形式传输到I/V转换器，I/V转换器将接收来的束流进行电流到电压的转换，传送给运放器，运放器将接收来的束流进行电压放大，控制器发送指令控制模拟开关来选择档位，使场效应管导通，高精密电阻作为反馈电阻，将运放器的输出电压进行反馈放大，控制器读取运放器的输出电压值，将它转化为数字信号传送给主计算机，主计算机对检测到的电流值进行判断，控制模拟开关和高精密电阻换档。