[实用新型]一种晶片台扫描装置无效
| 申请号： | 200620008173.9 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2890081Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 许波涛;伍三忠;郭健辉;易文杰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/54;H01L21/265;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片台扫描装置，包括晶片台、密封法兰、导向座、直线电机、运动轴，其中所述晶片台固定在运动轴的上端，运动轴穿过导向座、密封法兰；直线电机连接运动轴，推动运动轴沿导向座作垂直方向的扫描运动。本装置采用新型的直线电机驱动取代传统的伺服电机加丝杠组合使用的方式，提高了扫描响应速度和运动精度，同时运动更加平稳；并且使用寿命更长，免维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶片台扫描装置，其特征在于：包括晶片台、密封法兰、导向座、直线电机、运动轴，其中所述晶片台固定在运动轴的上端，运动轴穿过导向座、密封法兰；直线电机连接运动轴，推动运动轴沿沿导向座作垂直方向的扫描运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200620008173.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
