[实用新型]陶瓷微型热导检测器

摘要

本实用新型公开了一种测量精度高，体积小的用于气相色谱仪的陶瓷微型热导检测器。包括具有二个不相通内腔的外壳，进气嘴与出气嘴均与内腔相通，关键是外壳为至少二块非导电材料制成的壳体连接而成，空腔内设有电阻敏感元件并接引出导线。本实用新型结构简单，敏感元件与壳体可直接接触，则内腔可以很小，无须考虑敏感元件绝缘的问题，同时采用常规的蚀刻技术，可保证敏感元件的制作精度，进一步提高测量精度，本实用新型可适应各种类型的分离柱，尤为可适用毛细管柱，可对微量气体进行精确的定量定性分析，还可降低成本和大幅减小检测器的体积。

主权项

1.一种陶瓷微型热导检测器，包括具有二个不相通内腔的外壳(2)，进气嘴(3)与出气嘴(4)均与内腔(5)相通，其特征在于所述的外壳(2)为至少二块非导电材料制成的壳体连接而成，空腔内设有电阻敏感元件(1)并接引出导线(6)。