[实用新型]微纳米级尺度力学性能测试仪无效
| 申请号： | 200620012381.6 | 申请日： | 2006-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN2890890Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 周亮;姚英学 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及微纳米尺度力学性能的检测仪器。通过龙门架(7，14)将压痕制备装置(9)和压痕扫描装置(12)与大行程二维工作台(1)固定连接在一起，可以分别实现压痕制备和压痕扫描的功能，能提供大范围的施加载荷或压痕深度，能提供高精度的压痕三维图。被测试样品由大行程二维工作台(1)与小行程微动工作台(6)带动运动，可以实现大行程快速运动和小行程高精度运动，从而提高检测速度和检测精度。本测试仪器测试范围大、精度高、信息全面、使用方便，能促进材料微纳米尺度下的力学性能研究。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 尺度 力学性能 测试仪 | ||
【主权项】：
1.一种微纳米尺度力学性能测试仪，包括大行程二维工作台(1)，小行程微动工作台(6)，压痕制备装置(9)和压痕扫描装置(12)，其特征在于，小行程工作台(6)安装在大行程工作台(1)上，由大行程工作台(1)带动小行程工作台(6)在两个检测装置之间运动，大行程工作台(1)由大行程工作台压电陶瓷电机(3，4)驱动，在大行程工作台导轨(2，5)上运动，小行程微动工作台(6)由线切割形成柔性铰链，由小行程工作台压电陶瓷电机(16，17)驱动，压痕制备装置(9)和压痕扫描装置(12)通过龙门架与大行程工作台安装在一起。
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