[实用新型]一种连续真空镀膜装置无效
| 申请号： | 200620016037.4 | 申请日： | 2006-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN200974865Y | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 李清明;钟源 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市港湾知识产权代理有限公司 | 代理人： | 冯达猷 |
| 地址： | 518119广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于一种连续真空镀膜装置，包括真空镀膜机、分别密封串接在该真空镀膜机的两端若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室；该进件真空过渡室、该真空镀膜机和该出件真空过渡室之间贯通有工件输送装置；相连的真空过渡室之间、及与真空镀膜机之间均设有密封移门装置；其中，所述进件真空过渡室和所述出件真空过渡室数量相同，沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置。采用上述结构后，使相应的密封移门装置的开启和相应的真空过渡室的抽真空操作可以协调、同步进行，对连续真空镀膜过程的节奏容易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种连续真空镀膜装置，包括真空镀膜机、分别密封串接在该真空镀膜机的两端若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室；该进件真空过渡室、该真空镀膜机和该出件真空过渡室之间贯通有工件输送装置；最远离真空镀膜机的进件真空过渡室与外界之间、每个进件真空过渡室之间、与真空镀膜机相连的进件真空过渡室与真空镀膜机之间、真空镀膜机与同真空镀膜机相连的出件真空过渡室之间、及每个出件真空过渡室之间、最远离真空镀膜机的出件真空过渡室与外界之间均设有密封移门装置；其特征在于：所述进件真空过渡室和所述出件真空过渡室数量相同，沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置。
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