[实用新型]一种铌酸锂晶片光刻甩胶真空吸头无效
| 申请号： | 200620017500.7 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN2914146Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 杨彦伟;李建国;杨文宗;唐宗敏 | 申请（专利权）人： | 深圳飞通光电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种铌酸锂晶片光刻甩胶真空吸头，其真空吸头为一体成型，包括：用于吸附晶片的一吸盘，该吸盘的大小形状与晶片适配，吸盘既可是圆形也可是矩形，其表面设有通孔和凹槽；所述吸盘下部设有与电机旋转轴连接的一轴颈，该轴颈与电机旋转轴的轴心连通真空系统，使晶片下表面与吸盘上表面之间形成真空吸附，所述吸盘的四周边缘固定连接有多个防止晶片离心飞出的挡块，这样就避免了甩胶过程中由于离心力的作用铌酸锂材料的晶片向外飞出打碎，从而可有效保证晶片甩胶的高成品率。在进行4英寸圆晶片或矩形晶片的甩胶时，只需更换相应真空吸头即可。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 晶片 光刻 真空 吸头 | ||
【主权项】：
1、一种铌酸锂晶片光刻甩胶真空吸头，该真空吸头为一体成型，包括：用于吸附晶片的一吸盘，该吸盘的大小形状与晶片适配，其表面设有通孔和凹槽；和位于所述吸盘下部的一轴颈，轴颈与电机旋转轴连接，且轴颈与电机旋转轴的轴心设有真空通道，该通道与吸盘表面的通孔和凹槽形成真空连接，使所述晶片下表面与吸盘的上表面形成真空吸附，其特征在于，所述吸盘的四周边缘固定连接有多个防止晶片离心飞出的挡块，吸盘表面吸附的晶片上表面高于所述挡块顶部ΔH，其值为0.1～0.9mm。
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