[实用新型]用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬

摘要

用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它涉及一种常压等离子体抛光设备。本实用新型的目的是为解决常规的机械式研抛方法在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、容易产生表层及亚表层损伤和内炬管易腐蚀，成本高，系统的维护性不好，等离子体火焰外形难以控制等问题。本实用新型阴极(6)的外壁与外套(9)的内壁之间形成水冷环形空间(13)，阳极水冷导管(1)设置在阳极(5)的内腔(16)内。本实用新型不需要真空室，其等离子体火焰的外形可根据需要更换不同的端部盖板加以控制，有利于控制加工轨迹的重复性。不会像真空等离子体那样对超光滑表面造成表面损伤、亚表层损伤和表面污染，实现了光学零件的高效率高质量加工。

主权项

权利要求书1、一种用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它由阳极水冷导管(1)、进气接头(3)、阴极水冷接头一(4)、阳极(5)、阴极(6)、阴极水冷接头二(8)、外套(9)、陶瓷螺母(10)、连接体(11)、密封座(12)、端盖(20)、螺钉(24)和密封圈(25)组成，其特征在于阴极(6)与外套(9)固定连接，阴极(6)的外壁与外套(9)的内壁之间形成水冷环形空间(13)，阴极水冷接头一(4)固定在外套(9)一侧的外壁上并与水冷环形空间(13)相连通，阴极水冷接头二(8)固定在外套(9)另一侧的外壁上并与水冷环形空间(13)相连通，陶瓷螺母(10)的右端与阴极(6)的左端固定连接，连接体(11)的右端与陶瓷螺母(10)的左端固定连接，阳极(5)的左端通过螺纹及阳极(5)中间的台肩固定在连接体(11)和陶瓷螺母(10)内，阳极(5)的右端设置在阴极(6)内，阳极(5)的外壁与阴极(6)的内壁之间形成工作腔(15)，进气接头(3)固定在陶瓷螺母(10)的外壁上并与陶瓷螺母(10)内的进气通道(14)相连通，陶瓷螺母(10)内的进气通道(14)与阳极(5)和阴极(6)之间的工作腔(15)相连通，阳极水冷导管(1)设置在阳极(5)的内腔(16)内，密封座(12)固定在阳极(5)的左端口内，阳极水冷导管(1)的左端固定在密封座(12)的中心处并与外界相通，连接体(11)内设有冷却水通道(2)，冷却水通道(2)的里端与阳极(5)的内腔(16)相连通，冷却水通道(2)的外端与外界相通，端盖(20)与外套(9)的右端通过螺钉(24)固定连接，端盖(20)与阴极(6)之间设有密封圈(25)，端盖(20)的中部开有出口(27)。