[实用新型]焦平面探测器芯片专用新型阳极硫化参考电极

摘要

一种焦平面探测器芯片专用新型阳极硫化参考电极，该新型的石墨参考电极代替原有的电极，其独特的梯形底面设计改进了原有电极的不足，提高了硫化工艺的稳定性和可操作性，从而进一步提高碲镉汞芯片表面自身硫化膜层的质量。在其侧面有安装螺钉的开孔，安装螺钉的开孔位于参考电极侧面不低于三分之二的高度位置；螺钉通过导线与外接电源相连；与未改进条件时的电极样品膜厚进行比较证明：便于放置，安放稳定，便于固定参考电极的外接引线，保证了硫化过程中电极之间的固定工作距离，保证了电流密度的均匀性，有效地提高了工艺过程中操作的稳定性、便利性、工艺可重复性。

主权项

1、一种焦平面探测器芯片专用新型阳极硫化参考电极，其特征在于：参考电极(1)的底面为梯形，在其侧面有安装螺钉(3)的开孔(2)，螺钉通过导线与外接电源(7)相连。