[实用新型]基于双气体源的大气压放电冷等离子体发生器无效
申请号: | 200620023045.1 | 申请日: | 2006-06-07 |
公开(公告)号: | CN200953682Y | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
发明(设计)人: | 李和平;高星;包成玉;张小章;王华博;孙文廷 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46;H05H1/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084北*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型属于大气压放电冷等离子体发生器技术领域,其特征在于:所述发生器的供气系统采用双气体源供气系统和裸露电极结构,从而构成平板型的或圆型或椭圆型的大气压放电冷等离子体发生器。所述的双气体源供气系统可以实现诱导空气或其它大气压下不能稳定放电的气体放电,裸露电极结构可以避免已有的介质阻挡放电中电极表面电介质损坏的问题,使冷等离子体工作气体最终为空气或其它大气压下不能稳定放电的气体,从而可以大大降低该项技术的使用成本。 | ||
搜索关键词: | 基于 气体 大气压 放电 等离子体 发生器 | ||
【主权项】:
1.基于双气体源的大气压放电冷等离子体发生器,其特征在于,所述发生器是基于平板型结构的大气压放电冷等离子体发生器,含有:电极:由上、下两块平板构成,该电极间有支撑和密封用的绝缘体;双气体源:包括空气在内的在大气压下不能稳定放电的主工作气体的气源,以及包括氦气或者氩气在内的能在大气压下稳定放电的诱导气体的气源,该主工作气体源及诱导气体源的出气口通过传输管道与冷等离子体发生器电极间的放电室相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200620023045.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。