[实用新型]一种滤波片检测用的真空微吸附台无效
| 申请号： | 200620028523.8 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN2876766Y | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 甘至宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/01;G01M11/04 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王立伟 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备，即真空微吸附台，它包括真空微吸附台座，真空微吸附台板，真空泵气嘴，微限位块；将真空微吸附台板压入真空微吸附台座，形成腔体，并用胶密封，真空微吸附台两侧有同轴的孔，实现了既能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座，微限位块用胶固定在真空微吸附台板上。本发明是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台，使待测件受微力吸附于载物台通光孔上，克服了其它力的影响，能快速定位，并且实现了透射光和反射光均能测量功能。利用简单的装置，获得高精度的测量结果，而且制作成本低廉，可以推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波 检测 真空 吸附 | ||
【主权项】：
1一种滤波片检测用的真空微吸附台，它包括真空泵和真空微吸附台，其特征在于该真空微吸附台包括真空泵气嘴(6)、真空微吸附台座(7)，真空微吸附台板(8)、微限位块(9)和同轴通光孔(10)；各部件之间连接关系：将真空微吸附台板(8)压入真空微吸附台座(7)形成腔体，并用胶密封；真空泵气嘴(6)带胶用螺纹连接到真空微吸附台座(7)上；微限位块(9)用胶固定在真空微吸附台板(8)上。
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