[实用新型]全动式剪切/干涉镜无效
申请号: | 200620041457.8 | 申请日: | 2006-04-28 |
公开(公告)号: | CN2932378Y | 公开(公告)日: | 2007-08-08 |
发明(设计)人: | 张东升 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/88 |
代理公司: | 上海上大专利事务所 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种全动式剪切/干涉镜。它由一个分光镜、两个反射镜和激光扩束器组成,一个反射镜可控平移,另一个反射镜可控偏转,激光扩束器以活动铰链机构连接安装,可控偏转的反射镜可拆卸,从而可实现多模式无损检测方式,可调整测量灵敏度和灵敏度方向,引入相移,实现图像自动分析。 | ||
搜索关键词: | 全动式 剪切 干涉 | ||
【主权项】:
1.一种全动式剪切/干涉镜,包括分光镜(3)、反射镜(1)(2)和激光扩束器(7),其特征在于:(1)所述的分光镜(3)以45°斜置于一个上下左右四面开口的壳体(8)内;(2)所述的反射镜共有两个:一个平移反射镜(1)通过可控平移机构设置在所述的壳体(8)的左开口处,另一个偏转反射镜(2)通过可控偏移机构设置在所述的壳体(8)的上开口处;(3)所述的激光扩束器(7)通过活动铰链机构设置在所述的壳体(8)的右开口前方。
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