[实用新型]拉晶装置无效
| 申请号： | 200620042607.7 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN200940169Y | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 何平;袁建中 | 申请（专利权）人： | 袁建中 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 200030上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种拉晶装置，包括机械转动装置，置于机械转动装置上的带有上炉盖的主炉体，置于主炉体上炉盖上的下端带有第一真空阀门，置于第一真空阀门与上炉盖之间并连接在上炉盖上的第二真空阀门。当一次晶体生长结束后，将第一、二两真空阀门关闭，可以将上炉筒带着晶体从主炉体上移开，单独进行退火。而主炉体内始终保持着原有的高温气氛，可以连续生长晶体。既节约能源，又加快生产周期，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种拉晶装置，包括机械转动装置，置于机械转动装置上的带有上炉盖的主炉体，置于主炉体上炉盖上的下端带有第一真空阀门的上炉筒，其特征在于包括：置于第一真空阀门与上炉盖之间并连接在上炉盖上的第二真空阀门。
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