[实用新型]太阳能硅晶片双束激光双线划槽机无效
| 申请号： | 200620043658.1 | 申请日： | 2006-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN200970855Y | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 王涛;姚建铨;古桂茹;刘保利 | 申请（专利权）人： | 无锡浩波光电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 太阳能硅晶片双束激光双线划槽机，属于硅材料加工技术领域，它解决了太阳能硅晶片的双线划槽加工技术问题，提高了加工效率，所采用的技术方案在于，采用双束激光输出的Nd:YAG激光器，配置移动平台，其技术方案要点在于，设计采用了Z型谐振腔双输出结构，配置直角棱镜合成间距可调的双束平行激光，由聚焦镜实现双束聚焦，实现激光双线划槽加工；其激光波长1064nm，聚焦光斑为Φ9～19μm，划槽双线间距可调范围：1～4mm，划槽最小线宽：10μm，最大划片速度：100mm/s，功率为20～40W，调制频率范围5～35KHz主要应用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池及硅、锗、砷化镓及等材料的划槽与切割。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 晶片 激光 双线 划槽机 | ||
【主权项】：
太阳能硅晶片双束激光双线划槽机，其特征在于，Z型谐振腔双输出激光的结构，配置具有合成间距可调的双束平行激光的直角棱镜，设置聚焦镜进行双束聚焦。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡浩波光电子有限公司，未经无锡浩波光电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200620043658.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机动螺栓扳手
- 下一篇：用于改良瞬时相沉积的气体分配系统
