[实用新型]离子注入机真空管路结构无效
| 申请号： | 200620046643.0 | 申请日： | 2006-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN200953337Y | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 蔡国辉;史旭;张勇;单易飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机真空管路结构，其包括一源腔体、一机械泵和设置于所述源腔体与机械泵之间的一阀门，所述阀门与机械泵之间增设一副阀门，当拆下清洁所述阀门时，可先关闭所述副阀门，保持真空管路系统的正常运行。本实用新型不需停止机械泵，而且不会对系统压力产生影响的情况下，便可以进行清洗阀门。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 真空 管路 结构 | ||
【主权项】：
1、一种离子注入机真空管路结构，其包括一源腔体、一机械泵和设置于所述源腔体与机械泵之间的一阀门，其特征在于，所述阀门与机械泵之间增设一副阀门。
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