[实用新型]超声电解复合微细加工装置

摘要

一种超声电解复合微细加工装置，属于复合微细加工领域。它包括电解装置、超声波振动驱动装置、工作台、微压力调节与Z向自动进给测量装置、电解电流测量分析装置。微细加工过程中，微器件与阴极浸入含有微细磨料的钝化性电解液中，因微电压电解使微器件表面生成钝化膜，阻止电解作用持续进行。而超声振动冲击波使电解液及磨料产生对加工面的抛磨及负压空化作用，消除电解钝化膜并将加工产物及时从加工区排除，使得电解加工持续进行。通过调制方式还可使电解电压与阴极振动相位有序同步，实现加工过程与产物排除及电解液更新交替进行。该装置具有精度、效率高、成本低及加工表面质量好的优点。

主权项

1、一种超声电解复合微细加工装置，包括：能够实现x、y方向微位移及转动的工作台(5)，由工具阴极(2)、微加工器件(4)、电解电源(15)及钝化性电解液(3)组成电解装置，由超声波电源(18)、超声波换能器(19)、变幅杆(1)组成的超声波振动驱动装置，其特征是：(a)、所述的电解电源(15)为独立式直流电源或独立式脉冲电源或与超声波振动同步协调的脉冲电源，其中与超声波振动同步协调的脉冲电源是指电解电源(15)与超声波电源(18)之间串接一个调制电路(17)，调制电路(17)包括与超声波电源(18)连接的电压幅值调节器TU，电压幅值调节器TU输出端连接电压比较电路的输入端，光电耦合电路输入端连接电压比较电路的输出端，光电耦合电路输出端连接电解电源(15)内部功率晶体管(16)；(b)、所述的超声电解复合微细加工装置还包括一个电解电流测量分析装置，该装置由一个将加工过程电流转换为电压信号的串接在工具阴极(2)、微加工器件(4)、电解电源(15)、钝化性电解液(3)所组成的电解回路中的电流传感器(20)，输入端与电流传感器(20)相连的数字存储示波器(21)，与数字存储示波器(21)输出端相连的PC微机(22)组成；(c)、所述的超声电解复合微细加工装置还包括一个微压力调节与Z向自动进给测量装置，该装置由连通器压力油箱(13)、与连通器压力油箱(13)相连的连通器导管(14)、安装在连通器压力油箱(13)上端的连通器活塞杆(12)、安装在连通器活塞杆(12)上的精密微细砝码(11)以及用于测量工作台(5)Z向位移的深度测微仪(10)组成。