[实用新型]电阻化学气相沉积炉引电极的密封装置

摘要

本实用新型公开了一种电阻化学气相沉积炉引电极的密封装置，包括设置在炉底的炉底盘、穿过炉底盘的引电极和套装在引电极与炉底盘之间的上绝缘套和下绝缘套，以及位于下绝缘套的下方并拧在引电极上的锁紧螺母，在上绝缘套与下绝缘套之间加装有绝缘环，在上绝缘套与绝缘环之间设置有密封圈，在下绝缘套与绝缘环之间也设置有密封圈。本实用新型结构简单，设计合理，易于安装，密封效果好，使用寿命长；当绝缘环上方的橡胶密封圈和上绝缘套失效后，绝缘环下方的密封圈可发挥密封作用。

主权项

1、一种电阻化学气相沉积炉引电极的密封装置，包括设置在炉底的炉底盘(1)、穿过炉底盘(1)的引电极(2)和套装在引电极(2)与炉底盘(1)之间的上绝缘套(3)和下绝缘套(5)，以及位于下绝缘套(5)的下方并拧在引电极(2)上的锁紧螺母(6)，其特征在于：在上绝缘套(3)与下绝缘套(5)之间加装有绝缘环(4)，在上绝缘套(3)与绝缘环(4)之间设置有密封圈(7)，在下绝缘套(5)与绝缘环(4)之间也设置有密封圈(7)。