[实用新型]一种双层石英管水冷密封结构无效
申请号: | 200620079789.5 | 申请日: | 2006-09-14 |
公开(公告)号: | CN200953659Y | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
发明(设计)人: | 陈治明;李留臣;蒲红斌 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | H05B3/02 | 分类号: | H05B3/02;H05B3/04 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种双层石英管水冷密封结构,包括内石英管、分别设置于内石英管两端的、用于固定密封内石英管的上法兰、下法兰、缓冲垫以及密封圈,内石英管外套装有外石英管,内石英管和外石英管之间形成一空腔,外石英管的两端还设置有固定密封装置。本实用新型的结构,冷却效果稳定,结构简单,安装方便,还能对内石英管的内腔抽真空,以满足特殊材料制备工艺的需要,因而可作为高温高真空冶炼室应用于高温金属冶炼行业及高温半导体材料生长等行业。 | ||
搜索关键词: | 一种 双层 石英管 水冷 密封 结构 | ||
【主权项】:
1.一种双层石英管水冷密封结构,包括内石英管(14)、分别设置于内石英管(14)两端的、用于固定密封内石英管(14)的上法兰(10)、下法兰(1)、缓冲垫(2)以及密封圈(3),其特征在于,所述内石英管(14)外套装有外石英管(15),内石英管(14)和外石英管(15)之间形成一空腔,所述外石英管(15)的两端还设置有固定密封装置。
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