[实用新型]热导式气体检测器无效
| 申请号： | 200620098453.3 | 申请日： | 2006-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN2874488Y | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 熊友辉;刘志强;蒋泰毅 | 申请（专利权）人： | 武汉四方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/18 | 分类号： | G01N27/18 |
| 代理公司： | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430074湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种热导式气体检测器，由热导传感器和热导池组成，热导传感器采用运用MEMS技术和半导体工艺集成而成的热导传感器，其特征在于：热导池设有主气路通道和检测室，主气路通道与检测室之间设有过滤片，热导传感器放置于热导池的检测室里。本实用新型采用运用MEMS技术和半导体工艺集成而成的热导传感器，有效提高了测量精度和可靠性；由于检测室和主气路分离，热导传感器与渗透入检测室的样气接触后，可得到对应样气的浓度信号，极大地避免了被测气体流量、压力对测量结果的影响，并延长了热导测量器件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 热导式 气体 检测器 | ||
【主权项】：
1、热导式气体检测器，由热导传感器和热导池组成，热导传感器采用运用MEMS技术和半导体工艺集成而成的热导传感器，其特征在于：热导池设有主气路通道和检测室，主气路通道与检测室之间设有过滤片，热导传感器放置于热导池的检测室里。
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