[实用新型]一种多功能气体掺杂真空装置

摘要

本实用新型公开了一种多功能气体掺杂真空装置。机械泵经第一、二真空阀分别与大气和扩散泵连通，机械泵经第三、八真空阀与待充气系统连通，液氮俘获装置分别接扩散泵和经第四真空阀接第八真空阀，掺杂支路并联接有第九、十、十一真空阀后接第五真空阀，第五真空阀接第八真空阀，电离规和热偶规的一端接第八真空阀，另一端分别接复合真空计，U形管两端上的第六、七真空阀接第八真空阀。机械泵实现低真空；扩散泵抽至高真空；液氮俘获装置可吸附气体中的固体杂质于液氮俘获装置壁上，防止扩散泵中的高温硅油被污染；气体掺杂支路用于一种或多种气体的掺杂；电离规和热耦规，可测量10^－5Pa～10¹Pa的气压；U型管中充硅油，可测量10¹Pa～10⁴Pa的气压。

主权项

1、一种多功能气体掺杂真空装置，其特征在于：包括机械泵(1)、扩散泵(2)、液氮俘获装置(3)、掺杂支路(4)、复合真空计(5)、U形管(6)、十一个真空阀(8～18)、电离规(19)和热偶规(20)；机械泵(1)经第一、第二真空阀(8、9)分别与大气和扩散泵(2)连通，机械泵(1)经第三真空阀(10)和第八真空阀(15)与待充气系统(7)连通，液氮俘获装置(3)分别接扩散泵(2)和经第四真空阀(11)接第八真空阀(15)，掺杂支路(4)并联接有第九、第十、第十一真空阀(16、17、18)后接第五真空阀(12)，第五真空阀(12)接第八真空阀(15)，电离规(19)和热偶规(20)的一端接第八真空阀(15)，电离规(19)和热偶规(20)的另一端分别接复合真空计(5)，U形管(6)两端上的第六、第七真空阀(13、14)接第八真空阀(15)。