[实用新型]离子注入机的一维机械扫描装置无效
| 申请号： | 200620113052.0 | 申请日： | 2006-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN2913387Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 彭立波;戴习毛;钟新华;袁卫华 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机的一维机械扫描装置，包括靶台、伺服电机和线性运动推动机构，线性运动推动机构的连杆和摆动扫描从动臂的两端分别与靶台和固定座活动连接，构成平行四边形，摆动扫描从动臂的固定座一端与摆动扫描驱动臂的一端固定连接，摆动扫描驱动臂的另一端与线性驱动机构活动连接，线性驱动机构通过丝杆副与伺服电机连接。本实用新型消除了机械扫描对系统真空的影响，具有结构简单，成本低，扫描精准度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 机械扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.离子注入机的一维机械扫描装置，包括靶台、伺服电机和线性运动推动机构，其特征为线性运动推动机构包括连杆、摆动扫描从动臂、固定座、摆动扫描驱动臂、滑块、线性驱动机构和丝杠副，连杆(2)的两端通过转动副分别与靶台(1)和固定座(4)连接，摆动扫描从动臂(3)位于连杆下方，摆动扫描从动臂(3)的两端也通过转动副分别与靶台(1)和固定座(4)连接，摆动扫描驱动臂(5)一端连接到固定座(4)，通过转动副和摆动扫描从动臂(3)连为一体，另一端通过转动副与滑块(6)连接，滑块(6)通过滑动副与线性驱动机构(7)连接，线性驱动机构(7)通过丝杆副(8)与伺服电机(9)连接，靶台(1)、连杆(2)、摆动扫描从动臂(3)、固定座(4)构成一平行四边形。
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