[实用新型]晶体生长炉的上传动钢缆夹持器部件无效
申请号: | 200620116092.0 | 申请日: | 2006-05-26 |
公开(公告)号: | CN200940171Y | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 李润源;周世增 | 申请(专利权)人: | 北京京仪世纪自动化设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100079北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种半导体行业的晶体生长炉上传动钢缆夹持器,这种部件的外型与中心钢缆安装孔同轴并且对称,这种结构可使钢缆旋转时无偏心力无晃动;它在夹持器体及压盖之间设计有容纳钢缆穿过的空间,并有导向轴将钢缆导向反向伸出夹持器,反向伸出的钢缆安装用矩形槽,其深度小于钢缆直径,将钢缆与夹持器可靠的联结。 | ||
搜索关键词: | 晶体生长 传动 钢缆 夹持 部件 | ||
【主权项】:
1.一种晶体生长炉的上传动钢缆夹持器部件,其特征在于:夹持器外形与中心钢缆安装孔及重锤联结孔同轴并且对称,夹持器体上设有容纳钢缆的空间及导向轴孔。
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