[实用新型]曝光机的基板支撑结构无效
| 申请号： | 200620117021.2 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN2919303Y | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈昱东;杨天宏 | 申请（专利权）人： | 广辉电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨俊波 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型有关于一种曝光机的基板支撑结构，可避免曝光机上的基板承载平台因为长期使用所累积的静电，使基板因静电效应而在取出时移位造成破片。本实用新型的曝光机的基板支撑结构，包括：一具有复数个支撑垫的平台；一具有一驱动杆与复数个基板支撑顶针的基座，且基板支撑顶针用以支撑或承接基板；以及至少二个基板支撑挡板，其设置的距离小于基板的最大边长；且基板支撑挡板高度小于基板支撑顶针的高度。当基板因平台上的静电效应发生下弯或变形，基板会与基板支撑挡板的一顶面接触，减低基板因静电效应发生的弯曲或变形。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 支撑 结构 | ||
【主权项】：
权利要求书1.一种曝光机的基板支撑结构，配合一基板，其特征在于，包括：一具有复数个支撑垫的平台，所述复数个支撑垫用以支撑或承接该配合的基板，以使该基板与该平台保持一间距；一具有一驱动杆与复数个基板支撑顶针的基座，其中该驱动杆连结该平台，并驱动该平台的升降，且所述复数个基板支撑顶针用以支撑或承接该基板；以及至少二个基板支撑档板，设置于该基座上任二个该基板支撑顶针之间；所述这些基板支撑档板设置的距离小于该基板的最大边长；且所述这些基板支撑档板高度小于所述复数个基板支撑顶针的高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广辉电子股份有限公司，未经广辉电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200620117021.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
