[实用新型]动态随机存取存储器的电容器接点结构

摘要

一种电容器接点结构，适用于动态随机存取存储器的存储单元阵列区，此存储单元阵列区配置于基底上，且位于基底中的掺杂带上，此电容器接点结构包括闲置电容器与接触窗。其中，闲置电容器配置于基底的第一沟渠中，且第一沟渠底部暴露出部分掺杂带。闲置电容器包括第一下电极、第一介电层与第一上电极。第一下电极沿着第一沟渠内面配置，且电性连接掺杂带。第一介电层配置于第一下电极与第一沟渠的侧壁之间。第一上电极则配置于第一下电极上，且填满第一沟渠。接触窗配置于闲置电容器上，藉此电性连接掺杂带。

主权项

1.一种电容器接点结构，其特征在于，适用于动态随机存取存储器的存储单元阵列区，该存储单元阵列区配置于基底上，且位于该基底中的掺杂带上，该电容器接点结构包括：闲置电容器，配置于该基底中的第一沟渠中，且该第一沟渠底部暴露出该掺杂带，该闲置电容器包括：第一下电极，沿着该第一沟渠内面配置，且电性连接该掺杂带；第一介电层，配置于该第一下电极与该第一沟渠的侧壁之间；以及第一上电极，配置于该第一下电极上，且填满该第一沟渠；以及接触窗，配置于该闲置电容器上，藉此电性连接该掺杂带。