[实用新型]多段式反应溅射气体进气装置无效
| 申请号： | 200620122651.9 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN200996041Y | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 王双;章其初;池华敬;陈革;黄垂利 | 申请（专利权）人： | 黄鸣 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 253023山东省德*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种多段式反应溅射气体进气装置，其进气主管由下段进气分管，中段进气分管，上段进气分管通过卡套连接成一排，每一进气分管的中部都与真空室内进气支管连接，进气分管均装有进气喷嘴，喷嘴与喷嘴座以螺纹连接并装有密封圈，每个真空室进气支管与穿过真空室壁进气支管连接，穿过真空室壁进气支管在室外的一端与流量调节针阀的出口连接，各调节针阀的入口汇合于连接器后再与压电陶瓷阀或质量流量控制器的出口连接，本装置的优点是各喷嘴进气流量差异少，各进气分管的进气比例易于调节，喷嘴安装不易漏气。 | ||
| 搜索关键词： | 段式 反应 溅射 气体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多段式反应溅射气体进气装置，其特征是进气主管由下段进气分管(1)、中段进气分管(2)和上段进气分管(3)组成，每支进气分管的两端密封，三支进气分管用卡套连接成一排，并组成一支进气主管，每一进气分管(1、2、3)的中部都与真空室内进气支管(10)焊接，进气分管(1、2、3)均装有进气喷嘴(4)，每支进气分管对应的真空室内进气支管(10)与穿过真空室壁(5)的进气支管(9)连接，该进气支管(9)在室外的一端又与流量调节针阀(8)的出口连接，与三支进气支管相连的流量调节针阀(8)的入口又汇合于连接器(6)，再与压电陶瓷阀或质量流量控制器(7)的出口连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄鸣，未经黄鸣许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200620122651.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
