[实用新型]硅片甩干机

摘要

本实用新型涉及一种半导体元件清洗工业，具体的是其甩干设备。其目的是提供一种运转平稳可靠、维护保养要求低，且成本较低的硅片甩干机。本实用新型具有位于机箱内的甩干机构、甩干辅助设备及电控系统，上述电控系统由交流伺服驱动电路、可编程控制器(PLC)、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。

主权项

1、一种硅片甩干机，具有位于机箱内的甩干机构、甩干辅助设备及电控系统，上述甩干机构包括甩干桶(1)和可绕甩干桶中心轴旋转的用来固定被甩干硅片的甩干盘(2)，甩干盘的转动轴通过传动装置(4)和电控系统的伺服电机(5)连接，上述甩干辅助设备包括向甩干桶内喷纯水以及氮气的喷射装置(6)和桶内加热器(7)，本装置由电控系统控制甩干机构的甩干转动和甩干辅助设备的运作，其特征在于：上述电控系统由交流伺服驱动电路、可编程控制器(PLC)、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。