[实用新型]带有水套的拉晶炉无效
| 申请号： | 200620130175.5 | 申请日： | 2006-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN200968775Y | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 刘宝成;邢广轩;郑俊霞 | 申请（专利权）人： | 河南恒昌电子有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所 | 代理人： | 韩华 |
| 地址： | 46150*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种在半导体晶体区熔过程中使用的带有水套的拉晶炉，包括炉壳、设置在炉壳中受热腔体周围的发热体、在发热体与炉壳之间填充的保温棉，在炉壳中受热腔体周围还设置有冷水套，冷水套通过管道与外界相接通，设置在炉壳中受热腔体周围的发热体为热电偶，其通过设置在炉壳上的热电偶接线柱以及电源接线柱与外界电源相连接，具有结构简单、熔区的温度梯度合理、可以明显提高半导体晶棒性能的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 拉晶炉 | ||
【主权项】：
1、一种带有水套的拉晶炉，包括炉壳(1)、设置在炉壳(1)中受热腔体周围的发热体(2)、在发热体(2)与炉壳(1)之间填充的保温棉(3)，其特征在于：在炉壳(1)中受热腔体周围还设置有冷水套(4)，冷水套(4)通过管道与外界相接通。
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