[实用新型]霍尔型离子源无效
| 申请号： | 200620137860.0 | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201160064Y | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 杨东升;王琼先;叶军;何欣 | 申请（专利权）人： | 北京镨玛时代科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102206北京市大兴区工业*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源，包括阳极，通过固定栓悬浮布置在阳极上方的阴极，及将电、气、冷却介质引入到阳极和阴极中的电、气、冷却介质引入组件，其中，由高导热材料制成的阳极被由电、气、冷却介质引入组件所引入的冷却介质进行直接冷却，且阳极表面采用导电薄膜进行改性；阳极采取严格屏蔽方式且屏蔽间隙小于暗区距离；由金属玻纹管或其他密封结构将用于引入电、气、冷却介质的管线引入真空室，防止异常放电；本实用新型的屏蔽外壳可悬浮或被施加不同电位，以控制屏蔽外壳对离子的吸收数量，改善离子束的分布状态。本实用新型可以克服阳极污染、暗区放电的缺点，提高了离子源的使用效率，能有效执行工件镀前处理和镀膜过程的离子束辅助作用。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔型离子源，其特征在于，包括阳极，通过固定栓悬浮布置在阳极上方的阴极，以及用于将电、气、冷却介质引入到阳极和阴极中的电、气、冷却介质引入组件，其中由高导热材料制成的所述阳极与所述电、气冷却介质引入组件直接相连，且所述阳极表面已采用导电薄膜进行改性。
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