[实用新型]一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置无效
| 申请号： | 200620149569.5 | 申请日： | 2006-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN201078747Y | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 巩岩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本实用新型中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网后，打到反射镜和，最后经过待测极紫外成像光学系统在极紫外相机上成像，金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。本实用新型的有益效果为：提供了一种结构简单、性能可靠能够对极紫外成像光学仪器成像质量进行测试的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 成像 光学仪器 质量 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于6nm-100nm波段的极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，光源(1)产生的平行光通过鉴别率板(2)后经反射镜(3)和(4)，最后经过待检成像系统(5)在探测器(6)上成像，其特征是：所述鉴别率板(2)是精密刻画的金属栅网(7)。
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