[实用新型]温梯法晶体生长系统无效
申请号: | 200620162405.6 | 申请日: | 2006-12-29 |
公开(公告)号: | CN200992591Y | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
发明(设计)人: | 万尤宝 | 申请(专利权)人: | 万尤宝 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人: | 季良赳;杨润周 |
地址: | 314001浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种温梯法晶体生长系统,包括:晶体炉,坩埚及其升降装置,其中晶体炉包括炉体、发热体和炉膛;炉体从外到内依次包括外壳、保温棉层、保温砖层和耐火层,耐火层高度为炉膛总高度的2/3-5/6;发热体位于炉膛1/4-1/2高度处,炉膛为长方体,可以同时容纳多坩埚晶体生长。本实用新型能保证掺杂浓度,并且能够均匀掺杂,可广泛应用于晶体生长领域。 | ||
搜索关键词: | 温梯法 晶体生长 系统 | ||
【主权项】:
1、一种温梯法晶体生长系统,包括:晶体炉,坩埚及其升降装置,其中晶体炉包括炉体、炉膛和发热体;炉体从外到内依次包括外壳、保温棉层、保温砖层和耐火层,其特征在于:所述的耐火层高度为炉膛总高度的2/3-5/6;所述的发热体位于炉膛1/4-1/2高度处。
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