[实用新型]一种直写制备聚合物光波导的装置无效
| 申请号： | 200620163352.X | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN201017057Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 曾晓雁;王泽敏;李祥友;李金洪;董林红;朱大庆 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/13 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写制备聚合物光波导的装置，其特征在于：气源通过气管与压力控制装置相连，压力控制装置通过施压气管与微细笔相连，用于控制施压气管中气流的通断和调节气压大小，并向微细笔的储料腔中的浆料提供所需的压力。采用本实用新型直写装置可以在已有的整体下包层上直写芯层，它具有工艺简单(不需要制作掩模－光刻等复杂的工艺)，设备造价低、效率高，制作周期短等特点。本实用新型便于将直写技术与现有的半导体工艺相容，如制备掩埋型的聚合物光波导器件的工艺与IC工艺相容，有利于实现光电器件的集成制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 聚合物 波导 装置 | ||
【主权项】：
1.一种直写制备聚合物光波导的装置，其特征在于：气源(5)通过气管(6)与压力控制装置(7)相连，压力控制装置(7)通过施压气管(8)与微细笔(9)相连，用于控制施压气管(8)中气流的通断和调节气压大小，并向微细笔(9)的储料腔中的浆料提供所需的压力。
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