[实用新型]测量薄膜摩擦学性能的装置无效
申请号: | 200620164948.1 | 申请日: | 2006-12-28 |
公开(公告)号: | CN201007702Y | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 白明武;张亚丽;庞重军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
主分类号: | G01N19/04 | 分类号: | G01N19/04;G01N19/06 |
代理公司: | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人: | 方晓佳 |
地址: | 730000甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种测量薄膜摩擦学性能的装置。该装置由工作平台、小角度倾斜台、精密定位装置、滑块、薄膜样品、球形或圆柱形样品、悬臂梁以及滑块驱动装置构成;工作平台与小角度倾斜台形成的倾斜角度为0.001°~5.000°。它可以测量薄膜的摩擦学寿命,也可以测量薄膜摩擦系数,薄膜与基体的结合强度。 | ||
搜索关键词: | 测量 薄膜 摩擦 性能 装置 | ||
【主权项】:
1.一种测量薄膜摩擦学性能的装置,其特征在于:该装置由工作平台-1、小角度倾斜台-2、精密定位装置-3、滑块-4、薄膜样品-5、球形或圆柱形样品-6、悬臂梁-7以及滑块驱动装置-8构成;工作平台-1与小角度倾斜台-2形成的倾斜角度为0.001°~5.000°。
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