[实用新型]一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源

摘要

本实用新型涉及一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源，由检漏口①、发射针腔②、钨针③、纳米针尖④、引出极⑤、聚焦极⑥和电路系统⑦组成，其特征在于钨针的尖端直径只有5～10μm，在钨针尖上还有纳米针尖，钨针置于发射针腔中，纳米针尖加正偏压、引出极加负电压，形成强电场，气体在检漏口进入发射针腔后向纳米针尖流动，在纳米针尖周围离化成离子，经引出极及电场引出到聚焦极，形成较强的聚集离子束流。本实用新型聚焦离子源具有聚焦好，灵敏度高，常温低温发射等优点，适用作各种高灵敏氦质谱检漏仪的离子源。

主权项

1.一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源，由检漏口①、发射针腔②、钨针③、引出极⑤、聚焦极⑥和电路系统⑦组成，其特征在于钨针③直径为0.45～0.55mm，钨针的尖端直径为5～10μm，钨针尖上还有纳米针尖④，钨针置于发射针腔②中，发射针腔与检漏口相连，纳米针尖接正偏压、引出极接负电压。