[实用新型]绿激光显微精密修调机无效
| 申请号： | 200620172515.0 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN200994226Y | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 卢飞星;陈泽民;邱忠明;汪宏志;游立德 | 申请（专利权）人： | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H01L21/00;H05K13/06 |
| 代理公司： | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430223湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种绿激光显微精密修调机，由机架、二维工作台、精密旋转台、探针、高倍显微镜、外光路护套、45度全反镜、扩束镜、激光器部件组成，机架的上面安装激光器，在激光器的出光孔处装有扩束镜，45度全反镜安装在扩束镜与外光路护套之间，机架的中间安装高倍显微镜，高倍显微镜的上方与外光路护套相连，且其下方的物镜聚焦的绿激光直达精密旋转台，机架的下方安装二维数控工作台，二维工作台的上面装有精密旋转台和探针。本实用新型利用精细聚焦的高峰值功率脉冲绿激光光斑，作为精密修切的光刀，配以实时自动检测和精密移位工作台，可实现对电阻、电路和传感器等器件作高精度自动修切调整，使电阻调节、断点刻蚀和图案标刻一气呵成。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 显微 精密 修调机 | ||
【主权项】：
1、绿激光显微精密修调机，由机架(1)、二维工作台(2)、精密旋转台(3)、探针(4)、高倍显微镜(6)、外光路护套(7)、45度全反镜(8)、扩束镜(9)、激光器(10)部件组成，其特征在于：机架(1)的上面安装激光器(10)，在激光器(10)的出光孔处装有扩束镜(9)，45度全反镜(8)安装在扩束镜(9)与外光路护套(7)之间，机架(1)的中间安装高倍显微镜(6)，高倍显微镜(6)的上方与外光路护套(7)相连，机架(1)的下方安装二维数控工作台(2)，二维工作台(2)的上面装有精密旋转台(3)和探针(4)，高倍显微镜(6)下方的物镜聚焦的绿激光直达精密旋转台(3)。
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