[实用新型]传感器外置式晶体提升装置

摘要

本实用新型涉及直拉式晶体生长炉的晶体驱动装置，旨在提供一种传感器外置式晶体提升装置。其晶升部件包括慢速电机组件、快速电机、同步带组件、柔性连轴器、光电编码器、前级蜗轮蜗杆减速器、后级蜗轮蜗杆减速器、刚性连轴器、限位块、配重块、平衡臂、支架、称重腔、提升腔、晶升底板和电气盒；晶转部件包括多碶带组件、导电滑环、晶转磁流体、电机支架和晶转电机。本实用新型大幅度提高了晶体提升装置可靠性，改善了晶体提升装置负载性能，以及晶体提升与回转速度控制精度与平稳性，并适应晶体提升过程全自动控制。装备该晶体提升装置的晶体生长炉可以实现全自动控制，其晶体产品完整性与均匀性都非常好，能够完全达到IC电路对单晶材料要求。

主权项

1、一种传感器外置式晶体提升装置，包括晶升部件和晶转部件，其特征在于：所述晶升部件包括慢速电机组件、快速电机、同步带组件、柔性连轴器、光电编码器、前级蜗轮蜗杆减速器、后级蜗轮蜗杆减速器、刚性连轴器、限位块、配重块、平衡臂、支架、称重腔、提升腔、晶升底板和电气盒；其中，慢速电机组件、前级蜗轮蜗杆减速器、后级蜗轮蜗杆减速器和提升腔用螺钉固定在晶升底板上，并分别通过两只柔性连轴器和一只刚性连轴器联接，构成慢速传动回路；快速电机用螺钉固定在慢速电机组件侧面，通过同步带组件连接慢速电机组件的输出轴，并与两只蜗轮蜗杆减速器和提升腔构成快速传动回路；光电编码器与前级蜗轮蜗杆减速器输出轴的一端通过紧定螺钉联接；限位块用螺钉固定在晶升底板上，与提升腔的输入轴通过同步带组件联接；配重块用长螺栓固定在平衡臂上，可沿平衡臂的一字型槽移动；平衡臂用螺钉固定在支架上，可沿支架的弧形槽转动；支架与晶升底板用螺钉固定；称重腔用螺钉固定在提升腔上面，O形圈密封；电气盒用螺钉固定在晶升底板侧面；所述晶转部件包括多碶带组件、导电滑环、晶转磁流体、电机支架和晶转电机；其中，晶转磁流体在最底部，有一根向上的空心轴；导电滑环套在晶转磁流体的空心轴上，内圈转子与空心轴用紧定螺钉联接，外圈定子用螺钉固定在晶转磁流体一侧；电机支架用螺钉固定在晶转磁流体法兰上；晶转电机与电机支架用螺钉联接；多碶带组件一端套在晶转磁流体的空心轴上，用螺钉分别与空心轴和晶升底板联接，另一端套在晶转电机输出轴上，紧定螺钉固定；晶转磁流体的空心轴穿过导电滑环，多碶带组件和晶升底板，进入真空腔体的底孔，O形圈密封；钢丝绳从真空腔体内穿过晶转磁流体的空心轴，从晶转磁流体下端孔穿出。