[发明专利]等离子处理装置

摘要

在通过将衬底(11)容纳在处理腔(6)中而实现等离子处理的等离子处理装置中，由陶瓷制成的固定引导件(12)和可移动引导件(13)沿Y方向(沿衬底运输方向)排列，以引导保持在陶瓷制成的安装板(10)上的衬底的两个侧端部，并且可移动引导件(13)的两个端部由支撑构件支撑。在该构造中，这些支撑构件安装到沿Y方向布置的固定构件(15A和15B)上，安装板(10)设置在所述固定构件(15A和15B)之间，从而Y方向上的间距可调整。因此，陶瓷制成的引导构件(13)可以安装和拆卸，而不需要直接对其进行螺栓连接，并且可以通过将具有不同宽度尺寸的多产品薄类型衬底用作目标来防止产生不正常放电。

主权项

1、一种用于在处理腔中对衬底表面进行等离子处理的等离子处理装置，其包括：基部，其形成所述处理腔的底部；箱形构件，其下表面侧敞开，并且下端部抵靠在所述基部顶部上的基部表面上，以形成所述处理腔；电极部，其经由绝缘体安装在所述基部上，并且其上表面暴露在所述处理腔中；衬底安装部，该衬底安装部构成所述电极部的上部并且其上表面由陶瓷覆盖；等离子产生装置，其产生用于在所述处理腔中等离子处理的等离子；多个条形陶瓷引导构件，其沿衬底运输方向设置在所述衬底安装部的上表面上，并且适于引导安装于所述衬底安装部上的衬底的侧端表面；以及引导构件保持装置，其用于保持所述引导构件的纵向两个端部，其中所述引导构件保持装置包括：一对固定构件，该一对固定构件沿与所述衬底运输方向成直角的横向方向沿所述衬底安装部的外边缘固定地设置在所述基部上，多个支撑构件，其在所述衬底运输方向上的位置由所述固定构件定位，并且所述多个支撑构件适于支撑所述引导构件的两个端部，以及安装装置，该安装装置用于将所述多个支撑构件安装在所述固定构件上，以使得横向上的间距可调整。