[发明专利]光纤探针、光学探测装置和光探测方法无效
申请号: | 200680000201.5 | 申请日: | 2006-02-02 |
公开(公告)号: | CN1942753A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
发明(设计)人: | 伊藤泉;高田将人;照太郎;大津元一;八井崇;兴梠元伸 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光;财团法人神奈川科学技术研究院 |
主分类号: | G01N13/14 | 分类号: | G01N13/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 王冉;王景刚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一光学探测装置图像,它允许使用近场光以高分辨率和高效率进行快速测量,但是不需要光纤探针的位置对准。该光学探测装置包括光纤探针,该光纤探针具有用于传播光的芯部,在该芯部的前端处形成光探针;移动控制单元,将光纤探针靠近或远离样本移动;及探测单元,探测来自样本表面的光,其中,在光探针的芯部的前端表面上,具有在外围侧上用于发射传播光的第一出口区域,和用于漏出近场光的第二出口区域,该第一出口区域和第二出口区域以同心方式形成,并且第一出口区域的倾角不同于第二出口区域的倾角。 | ||
搜索关键词: | 光纤 探针 光学 探测 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光纤探针,包括:用于传播来自光源的光的芯部,所述芯部的前端表面包括用于发射传播光的第一出口区域和用于漏出近场光的第二出口区域,所述第一出口区域和所述第二出口区域以同心方式形成,其中:第一出口区域形成在外围侧上,及第一出口区域的法线相对于传播光的光轴的倾角不同于第二出口区域的法线相对于传播光的光轴的倾角。
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