[发明专利]薄膜压电谐振器及其制造方法无效
| 申请号： | 200680000322.X | 申请日： | 2006-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101061634A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 板谷和彦;尾原亮一;佐野贤也;安本恭章;梁濑直子 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;李峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种薄膜压电谐振器，包括：具有腔的基底；在该腔的上面延伸的第一电极；位于该第一电极上的压电膜；以及位于该压电膜上的第二电极。该第二电极的外周部分覆盖在该腔上，且被锥角化，以具有小于等于30度的内角，该内角由其外周的部分以及其底部来限定。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜压电谐振器，包括：具有腔的基底；第一电极，其在所述腔的上面延伸；压电膜，其位于所述第一电极上；以及第二电极，其位于所述压电膜上，所述第二电极的外周的部分覆盖在所述腔上并被锥角化，并且所述第二电极具有小于等于30度的内角，所述内角由其外周的部分以及其底部来限定。
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