[发明专利]用于维持微细结构体的结构体、半导体装置、TFT驱动电路、面板、显示器、传感器及它们的制造方法

摘要

本发明涉及将碳纳米级管、半导体纳米级导线等的微细结构体排列到基板之上的方法、和具备基于该方法而配置的微细结构体的基板。该方法的发明包括：在基板(1)形成槽(2)的工序、向所述槽内滴下分散有微细结构体(3)的溶液(6)的工序、和使所述溶液蒸发而在所述槽内自组织排列所述微细结构体的工序。通过该发明的方法排列微细结构体的基板，能够用于场效应晶体管或传感器。

主权项

1.一种用于保持微细结构体的结构体的制造方法，包括：向设置于基板的且具有各向异性的槽内，供给含有圆柱状的微细结构体的液体的工序(a)；和通过使所述液体蒸发，沿着所述槽的长度方向排列所述微细结构体的工序(b)。