[发明专利]含氟共聚物、碱性显影性树脂组合物以及碱性显影性感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 200680000388.9 | 申请日： | 2006-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1989156A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 都筑政秀;知场亮太 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾迪科 |
| 主分类号： | C08F8/14 | 分类号： | C08F8/14;C08F299/00;C08F299/02;G03F7/027;G03F7/032 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种含氟共聚物(E)、含有该含氟共聚物(E)的碱性显影性树脂组合物以及碱性显影性感光性树脂组合物。该含氟共聚物(E)是由A链段和B链段组成的嵌段共聚物(C)，并且是通过将A链段和/或B链段具有羟基的该嵌段共聚物(C)的羟基的一部分或全部用多元酸酐(D)进行改性而得到的；其中，A链段是由一种以上的氟类单体(A)得到的含氟链段，B链段是由一种以上的非氟类单体(B)得到的非氟链段。使用了含有本发明的含氟共聚物的碱性显影性树脂组合物的碱性显影性感光性树脂组合物，其防油墨性、碱性显影性、感光度、析像度、透明性、密合性、耐碱性优异，可以精度良好地形成微细图案。 | ||
| 搜索关键词： | 共聚物 碱性 显影 树脂 组合 以及 性感 | ||
【主权项】：
1.一种含氟共聚物(E)，其是由A链段和B链段组成的嵌段共聚物(C)，并且是将A链段和/或B链段中具有羟基的该嵌段共聚物(C)的羟基的一部分或全部用多元酸酐(D)进行改性而得到的；其中，A链段是由一种以上的氟类单体(A)得到的含氟链段，B链段是由一种以上的非氟类单体(B)得到的非氟链段。
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