[发明专利]被处理对象的搬送装置

摘要

处理系统(100)包括：搬送室(150)、与搬送室相连的多个室(140、160)、附设在搬送室内的搬送装置(180)、控制搬送装置的控制部(200)。搬送装置包括能够滑动动作的基台(182)、能够旋转动作的搬送臂(185A、185B)。控制部具备存储部(290)和动作控制器(280)。存储部存储表示滑动动作以及旋转动作的复合动作的多个动作类型的类型模式信息(292)、以及与动作类型分别对应的时间动作轨道的轨道模式信息(294)。动作控制器从类型模式信息以及轨道模式信息中检索必要的信息，并根据这些信息来控制搬送装置的动作。

主权项

1.一种处理系统，包括：朝一个方向形成为纵长的多边形搬送室；附设在所述搬送室的周围并且与其相连的多个室，其中，所述多个室包括对被处理对象实施处理的处理室；为了向所述多个室进行所述被处理对象的搬入搬出而附设在所述搬送室内的搬送装置，其中，所述搬送装置包括能够沿所述搬送室的纵向滑动动作的基台和以能够旋转动作的方式由所述基台所支承的可伸缩动作的搬送臂；以及控制所述搬送装置的控制部，其特征在于：所述控制部包括：用于存储当在所述多个室中的两个室之间搬送所述被处理对象时所必要的、表示所述滑动动作以及所述旋转动作的复合动作的多个动作类型的类型模式信息、以及与所述动作类型分别对应的所述滑动动作以及与所述旋转动作的时间动作轨道相关的轨道模式信息的存储部，其中，所述时间动作轨道被设定为通过所述复合动作而加在所述搬送臂上的所述被处理对象上的合成加速度不超过容许值，以及对于在所述多个室中的两个室之间的所述被处理对象的特定搬送，从所述类型模式信息以及所述轨道模式信息中搜索满足该搬送的动作类型以及时间动作轨道，根据检索出来的动作类型以及时间动作轨道控制所述基台以及所述搬送臂的动作的动作控制器。