[发明专利]气化装置以及处理装置无效

专利信息
申请号: 200680000634.0 申请日: 2006-01-13
公开(公告)号: CN101006197A 公开(公告)日: 2007-07-25
发明(设计)人: 小岛康彦;星野智久 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448;H01L21/31
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种气化装置(6),将被压送来的液体原料在减压气氛中使之气化而产生原料气体,将该原料气体与载气一起送出,包括暂时储存压送来的液体原料的贮液室(70)、经由阀口(66)与贮液室连通的气化室(62)、从贮液室的侧就位在分隔阀口的阀座上的阀芯(72)、驱动阀芯的驱动器(81)、设置在朝向阀芯的阀口的位置上的载气喷射口(92)、以及将气化室内的原料气体排出的排出口(28)。根据载气喷射口的特定的配置,防止未经气化的液体原料残留在气化装置的阀口的下游侧。
搜索关键词: 气化 装置 以及 处理
【主权项】:
1.一种气化装置,使被压送来的液体原料在减压气氛中气化而产生原料气体,将该原料气体与载气一起送出,其特征在于,包括:暂时储存压送来的液体原料的贮液室;经由阀口与所述贮液室连通的气化室;从所述贮液室的一侧就位在分隔所述阀口的阀座上的阀芯;驱动所述阀芯的驱动器;设置在朝向所述阀芯的所述阀口的位置上的载气喷射口;以及,将所述气化室内的原料气体排出的排出口。
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