[发明专利]光学积分器、照明光学装置、曝光装置以及曝光方法无效
| 申请号： | 200680001307.7 | 申请日： | 2006-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101069267A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 小松田秀基 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;G02B17/00;G02B13/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;徐谦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可以任意地设定入射面与射出面的间隔，而不会导致像差的产生或反射膜的反射率降低的波阵面分割型的光学积分器。其具备：并列配置的多个第一聚光元件(第一凹面反射镜元件(18a))；与这些多个第一聚光元件对应地并列配置的多个第二聚光元件(第二凹面反射镜元件(20a))；在多个第一聚光元件与多个第二聚光元件之间的光路中配置的中继光学系统(19)。中继光学系统将通过多个第一聚光元件的一个而聚光的光再次聚光在对应的第二聚光元件上或其附近，使得多个第一聚光元件的一个与多个第二聚光元件的一个具有分别一对一对应的成像关系。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 积分器 照明 装置 曝光 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种波阵面分割型的光学积分器，其特征在于，具备：并列配置的多个第一聚光元件；与该多个第一激光元件对应地并列配置的多个第二聚光元件；以及在上述多个第一聚光元件与上述多个第二聚光元件之间的光路中配置的中继光学系统；上述中继光学系统将通过上述多个第一聚光元件的一个而聚光的光再次聚光在对应的第二聚光元件上或其附近，使得上述多个第一聚光元件的一个与上述多个第二聚光元件的一个具有分别一对一对应的成像关系。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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