[发明专利]Al-Ni-B合金布线材料及使用该材料的元件结构有效

专利信息
申请号: 200680001532.0 申请日: 2006-03-30
公开(公告)号: CN101090985A 公开(公告)日: 2007-12-19
发明(设计)人: 占部宏成;松浦宜範;久保田高史 申请(专利权)人: 三井金属鉱业株式会社
主分类号: C22C21/00 分类号: C22C21/00;H01B1/02;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/786
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 徐迅
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 本申请的发明提供在具备薄膜晶体管及透明电极层的显示器件中,能够与ITO或IZO等的透明电极层直接接合,同时还能够与n+-Si等半导体层直接接合的Al系合金布线材料。本申请的发明的Al合金布线材料中,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.00.05≤Y≤11.0Y+0.25X≥1.0Y+1.15X≤11.5。
搜索关键词: al ni 合金 布线 材料 使用 元件 结构
【主权项】:
1、Al-Ni-B合金布线材料,它是在铝中含有镍和硼的Al-Ni-B合金布线材料,其特征在于,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.00.05≤Y≤11.00Y+0.25X≥1.00Y+1.15X≤11.50。
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