[发明专利]成膜装置的基板安装方法以及成膜方法无效
| 申请号： | 200680001553.2 | 申请日： | 2006-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN101090996A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 片冈达哉;长尾兼次;齐藤谦一 | 申请（专利权）人： | 三井造船株式会社;株式会社日本微拓科技;长州产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/12;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种成膜装置的基板安装方法，其在成膜装置上设置蒸发源和与该蒸发源相对的夹头(14)，将基板安装保持在所述夹头(14)上，其中，在配置于所述夹头(14)与所述蒸发源之间的掩模(28)上载置玻璃基板(26)，使所述掩模(28)与玻璃基板(26)一起接近所述夹头(14)，使玻璃基板(26)接触到所述夹头(14)，保持玻璃基板(26)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 安装 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置的基板安装方法，该成膜装置对应于掩模图案在基板上进行成膜，其特征在于，在将基板设置于夹头面之前，先将其载置于基板下部的掩模上，保持该状态将其与掩模整体夹持在夹头面上，从而消除夹持基板时的挠曲，而进行安装保持。
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