[发明专利]薄膜压电谐振器和滤波电路无效
| 申请号： | 200680001608.X | 申请日： | 2006-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101091311A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 尾原亮一;梁濑直子;佐野贤也;安本恭章;板谷和彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种薄膜压电谐振器，包括：在基板(10)的主面上设置的下电极(11)，用以覆盖空腔(14)；在下电极(11)上设置的压电膜(12)，位于空腔(14)上方；以及上电极(13)。上电极(13)具有：与空腔(14)的一部分重叠的主体部分(13a)，连接到主体部分(13a)的一侧的突起部分(13b)，在主体部分(13a)的相对侧设置的连接部分(13c)以及连接到连接部分(13c)的扩展部分(13d)。突起部分(13b)的长度与连接部分(13c)的长度基本上相同，从而使得相对于空腔(14)位置的移动，空腔区域外部的上电极(13)和下电极(11)的重叠面积不变。结果，在空腔(14)外部相互面对的上(13)下(11)电极中的寄生电容的总和不随空腔(14)位置的移动而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 谐振器 滤波 电路 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜压电谐振器，包括：具有空腔的基板，所述空腔从其主面穿透到底面；在所述基板的主面上设置的下电极，用以覆盖所述空腔；在所述下电极上设置的压电膜，位于所述空腔上方；以及在所述压电膜上设置的上电极，其包括：主体部分，其在平面图上与所述空腔的一部分重叠，突起部分，其连接到所述主体部分，所述突起部分的一部分与所述空腔相重叠，且其剩余部分不与所述空腔重叠，却与所述下电极相重叠，在所述主体部分相对于所述突起部分的相对侧设置的扩展部分，以及连接部分，其连接所述主体部分和所述扩展部分，该连接部分被设置以使得至少其一部分不与所述空腔相重叠，却与所述下电极相重叠，在与连接到所述主体部分的方向相垂直的方向上的所述突起部分的长度和在与连接到所述主体部分的方向相垂直的方向上的所述连接部分的长度基本上相同。
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