[发明专利]气体处理方法和计算机可读取的存储介质有效
| 申请号： | 200680002702.7 | 申请日： | 2006-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101107379A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 成嶋健索;若林哲 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C8/24;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体处理方法，使用气体处理装置，利用含有NH3气体和H2气体的气体对被处理体(W)进行气体处理，所述气体处理装置具备：收容被处理基板的腔室；配置在腔室内的喷淋头；向腔室内供给含有NH3气体和H2气体的气体的气体供给单元，腔室的覆盖层和喷淋头含有镍(Ni)。通过控制H2/NH3流量比和温度，抑制腔室的覆盖层和喷淋头中含有的镍的反应。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 处理 方法 计算机 读取 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种气体处理方法，其特征在于，在至少表面含镍(Ni)的高温部件的存在下，利用含有NH3气体和H2气体的气体对被处理体进行气体处理，控制H2/NH3流量比和所述部件的温度而抑制所述部件的镍的反应。
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