[发明专利]多个传感器芯片的连接体及其制造方法无效
申请号: | 200680003027.X | 申请日: | 2006-01-23 |
公开(公告)号: | CN101107515A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 改森信吾;细谷俊史;市野守保;中村秀明;后藤正男;来栖史代;石川智子;轻部征夫 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社;独立行政法人产业技术总合研究所 |
主分类号: | G01N27/327 | 分类号: | G01N27/327;G01N35/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在由多个传感器芯片的连接体中,相邻传感器芯片连接从而它们可以分离。每个传感器芯片可以更高效率地被切割和从连接体分离,且在分离之后,这些传感器芯片可以容易且快速地存储到容器内。另外,可以容易地检查传感器芯片且排出不合格芯片。各个传感器芯片包括:基板;盖层;中空反应单元,设于该基板和该盖层之间;检测装置,设于该中空反应单元内;输出端子,输出由该检测装置检测的信号;以及样品引入口,用于将样品引入到该中空反应单元。还披露了多个传感器芯片的连接体的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 传感器 芯片 连接 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种由多个传感器芯片制成的连接体,其中:相邻传感器芯片在可切割条件下相互连接。
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