[发明专利]限制环驱动器

摘要

提供了用于半导体处理室的限制组件。限制组件包括多个相互上下布置的限制环。多个限制环的每个分开以空间且多个限制环的每个具有多个限定在其内的孔。提供了延伸通过相应的限制环的对齐的孔的柱塞。柱塞可在大体上垂直于限制环的平面内移动。比例调整支承件固定到柱塞。比例调整支承件构造为支承限制环，使得当柱塞在平面内移动时分开了多个限制环的每个的空间被按比例调整。在一个实施例中，比例调整支承件是波纹套管。提供了半导体处理室和用于将等离子体限制在具有多个限制环的蚀刻室内的方法。

主权项

1. 一种用于半导体处理室的限制组件，其包括：多个相互上下布置的限制环，该多个限制环的每个分开以空间，该多个限制环的每个具有多个限定在其内的孔；延伸通过相应的限制环的对齐的孔的柱塞，该柱塞可在大体上垂直于限制环的平面内移动；和固定到柱塞的比例调整支承件，该比例调整支承件构造为支承限制环，使得当柱塞在该平面内移动时，分开了多个限制环的每个的空间被按比例调整。